格创东智设备故障侦测与分类系统G-FDC_设备数据实时分析系统

格创东智设备故障侦测与分类系统G-FDC

格创东智设备故障侦测与分类系统G-FDC，采用大数据架构，处理性能提升10倍；分布式集群部署，可用性超99.999%；支持超180天的历史数据查询；不限设备数量，资源可弹性扩展；支持多种形式的参数采集渠道，可直连设备采数；基于Wafer窗口的汇总计算和自定义场景计算；支持所有西电管控规则，可以自定义开发规则；提供参数的侦测模拟，辅助建模设定。

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痛点

技术架构古老
单体应用，不支持微服务架构，不支持HA，不支持动态扩展，性能差，稳定性不高；

实施难度大
系统部署复杂，不支持容器化运维，初始化配置不方便，需要有大量的定制逻辑开发；

功能不齐备
数据的计算处理能力弱，灵活度不高，告警实时性不强，不支持自定义管控规则；

易用性不好
C/s架构，使用不便；需要管理大量的模型；存在太多无效告警；数据接口不全；

格创FDC产品竞争优势 icon

全新架构性能优异
采用大数据架构，处理性能提升10倍；分布式集群部署，可用性超99.999%；支持超180天的历史数据查询；不限设备数量，资源可弹性扩展；

面向半导体行业场景
支持多种形式的参数采集渠道，可直连设备采数；基于Wafer窗口的汇总计算和自定义场景计算；支持所有西电管控规则，可以自定义开发规则；提供参数的侦测模拟，辅助建模设定；

产品易用性好
采用B/S架构，支持浏览器访问；基于模板的侦测建模，可一键管理上万实例；个性化的数据看板，千人千面；主数据配置可批量导入，实施便捷；

运维实施方便快捷
傻瓜式的系统部署指引，配置简单方便；支持虚拟化、容器化部署运维；开放所有系统接口，支持二次开发；系统逻辑变更可配置，无需编码；

设备重要性

什么是FDC

FDC（Fault Detection & Classification）设备数据的实时分析系统，对故障实时侦测，分类管控；具有高频数采，高吞吐量，高实时性的特点；在半导体行业属于刚性需求，能够提升良率，降低损耗；

FDC的应用场景

FDC的应用场景——CVD工艺 icon

FDC的效益

FDC - 工艺和设备部门的核心系统 icon

FDC系统操作流程

格创FDC功能介绍——制程类型建模 icon

相同制程工艺的设备可以定义成标准的制程类型，同类的设备可以直接应用制程类型的参数和事件，实现快速配置；支持参数设定：包括设备参数，DV参数，事件参数，维度参数；支持特殊形态的直采参数设定，如数组，列表等；支持虚拟参数设定，可自定义设定虚拟参数逻辑；支持事件设定：包括事件和虚拟事件；支持事件的参数关联；支持事件组设定，生成履历；支持历史版本管理，可快速回滚版本；

格创FDC功能介绍——数据采集 icon

定义设备的数据采集规则，将制程类型的参数、事件与Chamber实际关联起来，并管理采集的状态和采集策略；可设定设备采集状态，开启/关闭；支持批量管理；支持不同的采集渠道：EAP采集，直连设备采集；支持自定义采集策略，只采集指定状态下的数据；采集设定可以将参数和事件关联到Chamber，系统将按照关联状态进行数据解析和存储；支持按照每个chamber设定不同的虚拟数据逻辑；相同制程类型的Chamber可以快速复制采集设定，无需逐一设定；

格创FDC功能介绍——虚拟参数定义 icon

对真实的设备参数进行二次加工，逻辑处理和数学运算，得到新的参数或事件，应用于汇总计算和实时侦测；支持常见的学运算公式，可以对多个参数进行计算加工；支持常见的数学函数，如三角函数、微积分函数、数组函数等，支持数据的高级处理；支持IF条件的逻辑判断，实现复杂场景Case下的值输出；提供了数据验证工具，模拟虚拟参数计算过程，验证配置的准确性；

格创FDC功能介绍——汇总计算 icon

将Wafer区间按一定条件设定成不同的窗口，可以对窗口内的数据进行汇总计算建模，生成系统内的汇总计算数据；支持通过设备参数的条件判断，设定窗口开启/结束条件；可以添加按时间和数据点的逻辑设定窗口开始/结束，如满足N秒后开启窗口；给窗口内添加设备参数后，对已添加的参数创建汇总计算数据，支持20+种汇总算法；支持对每个汇总计算数据设定汇总维度，只对指定维度的产品进行汇总，减少无效数据；可设定规则过滤异常数据，提升汇总计算的有效性；

格创FDC功能介绍——自定义计算建模 icon

系统也支持跨窗口的，灵活的汇总计算模式，按照指定样本数的形式进行汇总计算；

支持按照设定的样本数进行汇总计算；

支持按照批次的样本数进行汇总计算；

可以直接使用设备参数进行汇总，也可以使用已经计算的汇总数据进行二次汇总；

系统还支持通过表达式对已经得到的汇总数据进行数学运算，得到新的汇总数据；

可设定规则过滤异常数据，提升汇总计算的有效性；

FDC系统操作流程

格创FDC功能介绍——实时数据监控 icon

系统支持对指定参数实时查看其变化曲线，可同时对多个Chamber和多个参数进行实时监控；

可查看反应室的实时产品维度信息；

如果参数在当前窗口有创建侦测实例，可以拉出管控阈值线，查看到参数的超限状况；

可以同时查看多个参数观察参数之间的交错状态；

格创FDC功能介绍——历史数据分析 icon

系统支持对指定参数查看其历史变化曲线，也可以查看指定侦测实例的历史图表和告警记录；

可同时查看多个反应室和参数的历史变化曲线；

支持按反应室生成叠加图，查看相同参数在不同反应室的交错变化；

可以选择指定实例，查看实例约定范围内的历史数据变化曲线；

支持查看到历史的阈值管控线和告警记录；

格创FDC功能介绍——生产履历查询 icon

系统支持对指定参数实时查看其变化曲线，可同时对多个Chamber和多个参数进行实时监控；

可查询任意Chamber的生产履历，包括批次履历和在制品履历；

可查看履历区间的参数Chart，系统支持履历叠加图，并显示履历期间的告警记录；

FDC系统操作流程

格创FDC功能介绍——侦测模拟 icon

系统支持对指定参数或侦测实例进行模拟侦测，通过添加侦测规则设定阈值，模拟历史数据可能产生的异常点和告警；拉取历史数据模拟时，支持通过维度信息进行过滤；拉取到的数据点，可以手动剔除异常点，也可以通过自动过滤方法，批量快速剔除；模拟时可以添加任意侦测规则，自由设定阈值，得到模拟结果；系统将记录上次的模拟结果并进行对比；系统还可以选择侦测实例，使用实例的设定进行侦测模拟，模拟的结果满意后，可以将模拟的阈值一键更新到实例；

格创FDC功能介绍——参数侦测建模 icon

无论是设备参数、DV参数还是汇总计算的参数，系统都支持侦测管控，可以对这些数据进行侦测建模；可以设定需要管控的产品维度信息，减少无效的异常告警；可以通过数据组合（笛卡尔积）的方式批量快速的对指定产品维度进行侦测管控；支持设定规则过滤异常数据，不参与侦测管控，提升管控的有效性；可以添加多个侦测规则，设定告警邮件和系统联动，数据触发规则后将自动发送告警邮件执行联动指令；系统支持设定告警过滤，设定在相同的产品维度信息下，告警的最大次数，减少重复告警发生；

格创FDC功能介绍——侦测告警规则 icon

系统支持所有的西电管控规则，可适用与所有形式的参数侦测管控；所有规则可以重复添加，支持使用统一规则设置不同的告警等级；支持通过与或关系设置多个规则条件；规则的参数支持自定义修改；告警触发有优先级，同一笔数据优先级高的规则触发后，优先级低的将不再触发；。

格创FDC功能介绍——侦测阈值设定 icon

系统支持常规设定和基于目标值设定两种方式设定侦测阈值，还可以开启阈值的自动更新计算；常规设定模式下，可以手动设定侦测阈值的实际值；也可以通过拉取历史数据，通过Sigma/百分比/固定值模拟计算得到侦测阈值；基于目标值设定的方法，可以先设定目标值，然后通过百分比/固定值得到其他的侦测阈值；开启阈值自动更新后，系统将定期拉起历史数据，自动计算并更新侦测阈值；系统提供基于时间的侦测阈值自动更新和基于数据点的侦测阈值自动更新方法；

格创FDC功能介绍——侦测实例管理 icon

系统提供统一的页面对侦测实例进行管理，支持制程类型和设备树两个管理视角，支持批量管理维护；

可以通过产品维度信息筛选符合条件的侦测实例；

支持对实例批量修改阈值、批量设置激活、批量设置联动启用、批量删除；

所有实例均可以追溯变更履历，方便问题查找；

格创FDC功能介绍——告警查询与追溯 icon

系统提供统一的页面查询告警记录，并详细追溯触发告警相关的数据点，以及计算这些数据的原始信息；

系统支持通过多种组合条件，查找告警记录；告警记录可导出；

可以手动标记告警的有效状态：有效/无效；

可以详细查看告警触发的产品维度信息，追溯异常产品；

可以追溯告警触发的数据点，以及这些数据点的详细信息；

若是汇总计算数据的告警记录，还可以追溯汇总计算的原始数据值；

分布式高可用部署

分布式、高可用集群架构，部分节点宕机不影响服务运行；不限设备数量、资源可弹性扩展；数据链路的延时控制在500ms以内的约83.61% ，1s以内占比97%；

性能指标对比

项目案例——某面板企业模组厂FDC项目 icon

项目背景

模组厂新厂量产在即，迫切需求建设FDC系统；原自研FDC系统功能较弱，无法满足新厂新设备的管控需求。项目共纳管设备3000+台，数据点10万+个，同时管控的侦测实例20万+个，支持1000+人的同时访问；

项目特色

强化参数注册的防呆监控，Sensor监控Miss管理，提升注册及数据查询功能的易用性，提升操作效率；通过管控阈值AutoRange的自适应规则，大量减少了无效告警的产生；根据生产需求对部分设备采用Group管理，Sensor监控Miss更精准；

项目案例——某12寸芯片制造企业FDC系统 icon

项目背景

建设新厂，原FDC系统厂商因政策原因无法继续提供服务，急需寻找国产FDC系统替代厂商；项目共纳管设备1000+台，数据点100万+个，同时管控的侦测实例200万+个，支持1000+人的同时访问；

项目特色

FDC系统通过虚拟端口软件直连从设备采集数据，需支持Interface A协议，支持最高10Hz的采集频率；有较多的异构形态的数据采集需求，数据解析逻辑可配置，无需编码；汇总统计算法和管控规则需求丰富全面，管控规则需要支持客户定制后导入系统应用；海量数据查询时效性要求极高，30天数据1分钟内出结果并绘制Chart；

TCL集团架构

目前TCL分为TCL科技和TCL实业两大集团，拥有TCL科技（000100.SZ)、TCL电子(1070HK)、通力电子(01249.HK)等多家上市公司，2022年营收为2700亿元，整体规模已达到世界500强！通过TCL科技和TCL实业两大主体布局了半导体显示、半导体材料、智能终端三大核心产业。